




氦質(zhì)譜檢漏儀的主要配置
科儀產(chǎn)品主要有:薄膜制備設(shè)備,真空冶金設(shè)備,檢漏設(shè)備,真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品;系列分子泵,離子泵,鈦升華泵,深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備;其次由于熱管都是安裝在設(shè)備內(nèi)部,如果發(fā)生泄漏,里面封裝的液體就會流出,嚴(yán)重污染和影響設(shè)備的正常運轉(zhuǎn),所以熱管生產(chǎn)企業(yè),都會采用氦質(zhì)譜檢漏儀對熱管進行檢漏。系列干式渦旋泵,干式爪泵,干式螺桿泵等無油真空獲得設(shè)備;超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。今天科儀的小編就和大家分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀的主要配置有哪些,希望對您有所幫助!
1. 檢漏儀專用分子泵
2. 機械泵或者干泵
3. 定制檢漏儀專用電磁閥
4. 內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏口
5. 放大器
6. 采用質(zhì)譜專用模塊
以上是科儀為您一起分享的內(nèi)容,科儀專業(yè)生產(chǎn)氦檢漏,歡迎新老客戶蒞臨。
氦質(zhì)譜檢漏常見問題
氦質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的檢測儀器,那么在使用過程中我們又遇到哪些問題呢?今天科儀的小編就和大家來一起總結(jié)一下!
一、為什么用氦氣作為示蹤氣體?其他氣體可以嗎?(1)在空氣中含量低(只有5 ppm),環(huán)境本底低
(2)惰性氣體不易1燃,不易1爆對環(huán)境沒有污染,不與其他物質(zhì)反應(yīng),可以混合到任意濃度
(3)無毒,可以用在食品工業(yè)
(4)在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其他物質(zhì)區(qū)分
(5)比空氣輕,運動速度快
(6)氣體分子很小,可以穿過微小的泄漏孔
(7)其它氣體也可以
二、噴氦檢漏的注意事項。
(1)被測系統(tǒng)應(yīng)盡量清潔,干燥,無油
(2)如果測量條件發(fā)生變化(溫度),需要重新對檢漏儀做內(nèi)部較準(zhǔn)
(3)氦氣比空氣輕,噴氦法檢漏應(yīng)注意方向
(4)盡量不要使用密封脂(油脂會大量吸附氦氣)
(5)不要向環(huán)境釋放大量氦氣
(6)真實的漏率信號應(yīng)當(dāng)是快速上升的信號,相對緩慢下降的信號
三、漏率(leak rate)
在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下,單位時間內(nèi)流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。
注:采用國際單位制時,漏率單位為:Pa?m3/s。
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用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因
選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。
質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:
1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應(yīng)出來,靈敏度高。
2、氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|(zhì)量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發(fā)現(xiàn),靈敏度高。
3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng),不會污染被檢件,使用安全。
4、在氦兩側(cè)的是氫(質(zhì)荷比為2)和雙電荷原子碳(質(zhì)荷比為6),質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣,它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大,容易分開,定標(biāo)找氦峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。
5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。
6.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。
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